Угљен-тетрафлуорид (CF4)

Технички параметри

Угљен-тетрафлуорид је халогеновани угљоводоник са хемијском формулом CF4. Може се сматрати халогенованим угљоводоником, халогенованим метаном, перфлуороугљеником или неорганским једињењем. Угљен-тетрафлуорид је гас без боје и мириса, нерастворљив у води, растворљив у бензену и хлороформу. Стабилан је на нормалној температури и притиску, избегавајте јаке оксидансе, запаљиве или запаљиве материјале. Незапаљив је гас, унутрашњи притисак у посуди ће се повећати када је изложена високој температури и постоји опасност од пуцања и експлозије. Хемијски је стабилан и незапаљив. Само течни реагенс амонијак-натријум може да ради на собној температури. Угљен-тетрафлуорид је гас који изазива ефекат стаклене баште. Веома је стабилан, може дуго да остане у атмосфери и веома је снажан гас стаклене баште. Угљен-тетрафлуорид се користи у процесу плазма нагризања разних интегрисаних кола. Такође се користи као ласерски гас и користи се у нискотемпературним расхладним флуидима, растварачима, мазивима, изолационим материјалима и расхладним течностима за инфрацрвене детекторе. То је најчешће коришћени гас за плазма нагризање у микроелектронској индустрији. То је мешавина тетрафлуорометана високог чистог гаса и тетрафлуорометана високог чистог гаса и високог чистог кисеоника. Може се широко користити у силицијуму, силицијум диоксиду, силицијум нитриду и фосфосиликатном стаклу. Нагризање танкослојних материјала као што су волфрам и волфрам се такође широко користи у чишћењу површина електронских уређаја, производњи соларних ћелија, ласерској технологији, хлађењу на ниским температурама, инспекцији цурења и детерџенту у производњи штампаних кола. Користи се као нискотемпературно расхладно средство и технологија сувог плазма нагризања за интегрисана кола. Мере предострожности за складиштење: Чувати у хладном, вентилираном складишту са незапаљивим гасовима. Држати даље од извора ватре и топлоте. Температура складиштења не сме прећи 30°C. Треба чувати одвојено од лако (запаљивих) запаљивих материја и оксиданата и избегавати мешовито складиштење. Простор за складиштење треба да буде опремљен опремом за хитне третмане цурења.

Примена:

① Расхладно средство:

Тетрафлуорометан се понекад користи као расхладно средство на ниским температурама.

② Гравирање:

Користи се у микрофабрикацији електронике сам или у комбинацији са кисеоником као плазма етанкат за силицијум, силицијум диоксид и силицијум нитрид.

Нормални пакет:

Предност:

①Висока чистоћа, најновији објекат;

②Произвођач са ИСО сертификатом;

③Брза достава;

④Онлајн систем анализе за контролу квалитета у сваком кораку;

⑤Високи захтеви и пажљив поступак руковања цилиндром пре пуњења;