Борон Трихлорид (БЦЛ3)је неорганско једињење које се обично користи у процесима сушења и хемијског таложења паре (ЦВД) у производњи полуводича. То је безбојни гас са јаким јачим мирисом на собној температури и осетљив је на влажан ваздух, јер хидролизе производи хлороводоничну киселину и боричну киселину.

Апликације Боронског трихлорида

У полуводичкој индустрији,Борон Трихлоридсе углавном користи за сушење алуминијума и као допанта да би се формирала области П-типа на силицијумним ваферима. Такође се може користити за етцх материјале као што су Гаас, СИ, АЛН и као извор бора у одређеним специфичним апликацијама. Поред тога, борон трихлорид се широко користи у преради метала, стакленој индустрији, хемијској анализи и лабораторијским истраживању.

Безбедност боронског трихлорида

Борон Трихлоридје корозивно и токсично и може проузроковати озбиљну штету очију и кожи. ХИДРОЛЕЕС у влажном ваздуху да би се ослободио токсични гас за хлориде. Према томе, потребно је предузети одговарајуће мере безбедности приликом руковањаБорон Трихлорид, укључујући и ношење заштитне одеће, наочаре и опреме за заштиту дисајних рачунара и дјелује у добро прозраченом окружењу.