Бор трихлорид (BCl3)је неорганско једињење које се често користи у процесима сувог нагризања и хемијског таложења из паре (CVD) у производњи полупроводника. То је безбојни гас са јаким оштрим мирисом на собној температури и осетљив је на влажан ваздух јер се хидролизује да би се произвела хлороводонична и борна киселина.

Примене боровог трихлорида

У полупроводничкој индустрији,Бор трихлоридУглавном се користи за суво нагризање алуминијума и као примеса за формирање П-типа региона на силицијумским плочицама. Такође се може користити за нагризање материјала као што су GaAs, Si, AlN и као извор бора у одређеним специфичним применама. Поред тога, бор трихлорид се широко користи у преради метала, индустрији стакла, хемијској анализи и лабораторијским истраживањима.

Безбедност боровог трихлорида

Бор трихлоридје корозиван и токсичан и може изазвати озбиљно оштећење очију и коже. Хидролизује се на влажном ваздуху ослобађајући токсични гас водоник-хлорид. Стога је потребно предузети одговарајуће мере безбедности приликом руковања.Бор трихлорид, укључујући ношење заштитне одеће, наочара и опреме за заштиту дисајних путева, као и рад у добро проветреном окружењу.