Ласерски гас

Ласерски гас се углавном користи за ласерско жарење и литографски гас у електронској индустрији. Корист од иновација екрана мобилних телефона и проширења области примене, обим тржишта полисилицијума на ниским температурама биће даље проширен, а процес ласерског жарења значајно је побољшао перформансе ТФТ-а. Међу гасовима неона, флуора и аргона који се користе у АрФ ексцимер ласеру за производњу полупроводника, неон чини више од 96% мешавине ласерског гаса. Са усавршавањем полупроводничке технологије, повећана је употреба ексцимер ласера, а увођење технологије двоструке експозиције довело је до наглог повећања потражње за неонским гасом који троше АрФ ексцимер ласери. Корист од промоције локализације електронских специјалних гасова, домаћи произвођачи ће у будућности имати бољи простор за раст тржишта.

Литографска машина је основна опрема производње полупроводника. Литографија дефинише величину транзистора. Координирани развој ланца индустрије литографије је кључ пробоја литографске машине. Одговарајући полупроводнички материјали као што су фоторезист, фотолитографски гас, фотомаска и опрема за премазивање и развијање имају висок технолошки садржај. Литографски гас је гас који литографска машина генерише дубоки ултраљубичасти ласер. Различити литографски гасови могу произвести изворе светлости различитих таласних дужина, а њихова таласна дужина директно утиче на резолуцију литографске машине, која је једно од језгара литографске машине. У 2020. укупна глобална продаја машина за литографију износиће 413 јединица, од чега је АСМЛ продаја 258 јединица чинила 62%, Цанон продаја 122 јединице чини 30%, а Никон продаја 33 јединице чини 8%.