Хлороводоникје безбојни гас са оштрим мирисом. Његов водени раствор се назива хлороводонична киселина, такође позната као хлороводонична киселина. Хлороводоник је веома растворљив у води. На 0°C, 1 запремина воде може растворити око 500 запремина хлороводоника.

Има следећа својства и карактеристике:

1. Висока чистоћа

Чистоћа електронског квалитетахлороводоникје веома висок, обично на нивоу ppm или нижем, како би се осигурало да се нечистоће не уносе у процес производње полупроводника.

2. Инертност

То је хемијски инертан гас који не реагује са многим другим супстанцама, што је веома важно за спречавање контаминације полупроводничких материјала и опреме.

3. Висока стабилност

Електронска оценахлороводоникгенерално има стабилну хемију како би се осигурала поуздана обрада полупроводника.

У обради полупроводника, главне примене хлороводоника електронског квалитета укључују:

1. Чишћење и припрема површине

Као ефикасно средство за чишћење површина, електронског квалитетахлороводониккористи се за уклањање оксида и нечистоћа са површине подлоге како би се осигурао квалитет и чистоћа епитаксијалног слоја или филма.

2. Епитаксијално средство за раст

Користи се као средство за површинску обраду у епитаксијалном процесу, помаже у побољшању квалитета епитаксијалног слоја, побољшању подударања решетке и смањењу стварања дефеката решетке.

3. Претходна обрада подлоге

Пре припреме полупроводничких уређаја, електронског квалитетахлороводоникможе се користити за третирање површине подлоге како би се формирала стабилна основа за побољшање адхезије између епитаксијалног слоја и подлоге.

4. Помоћно средство за таложење

У процесу хемијског таложења из паре (CVD) или физичког таложења из паре (PVD), хлороводоник електронског квалитета може се користити као медијум за пренос гасне фазе за учешће у реакцији таложења полупроводничких материјала.

5. Средство за пренос у гасној фази

Као средство за пренос гасних фаза, други гасовити прекурсори се уводе у реакциону комору како би се подесила брзина таложења и уједначеност материјала.

Ове карактеристике чине електронски квалитетхлороводоникважан процесни агенс у полупроводничкој технологији, који има кључни утицај на перформансе и поузданост финалног уређаја.

Поред употребе у обради полупроводника, хлороводоник електронског квалитета може пронаћи разноврсне примене у другим областима, укључујући: припрему материјала високе чистоће, горивне ћелије, раст полупроводничких материјала, литографију парне фазе, анализу материјала, хемијска истраживања.

Генерално, електронски разредхлороводоникје свестрани гас високе чистоће који има широк спектар примене ван производње полупроводника.