Хидроген хлоридје безбојни гас са оштар мирисом. Водени раствор се назива хлороводонична киселина, позната и као хлороводонична киселина. Хлолорид водоника је врло растворљив у води. На 0 ° Ц, 1 запремина воде може се растворити око 500 количина водоничног хлорида.

Има следећа својства и карактеристике:

1. Висока чистоћа

Чистоћа електронских разредахидроген хлоридје веома висок, обично на ппм или нижем нивоу, како би се осигурало да се не уклањају нечистоће у процес производње полуводича.

2 инертност

То је хемијски инертни гас који не реагује са многим другим супстанцама, што је веома важно да се спречи контаминација полуводичких материјала и опреме.

3. Висока стабилност

Електронски разредхидроген хлоридГенерално има стабилну хемију како би се осигурала поуздана операција полуводича.

У полуводичкој обради, главне примене електронских хлориде хлориде укључују:

1. Чишћење и припрема површина

Као ефикасан чистач површине, електронски разредхидроген хлоридКористи се за уклањање оксида и нечистоћа са површине подлоге како би се осигурао квалитет и чистоће епитаксијалног слоја или филма.

2.епитаксијална помоћ раста

Користи се као средство за пречишћавање површинског третмана у епитаксијалном поступку, помаже у побољшању квалитета епитаксијалног слоја, побољшати подударање решетке и смањити формирање кварова решетке.

3. Претподне обраде

Пре припреме полуводичких уређаја, електронски разредхидроген хлоридМоже се користити за лечење површине подлоге да би се формирала стабилна основа за побољшање пријаве између епитаксијалног слоја и подлоге.

4. Помоћни агент одлагања

У процесу хемијске таложења паре (ЦВД) или физичке таложење паре (ПВД), електронским нивоима хлориде може се користити као медијум за пренос гаса у току у реакцији таложења полуводичких материјала.

5. Агент за пренос гасног фаза

Као средство за пренос гасног фаза, други гасовити прекурсори уносе се у реакциону комору како би се прилагодио стопама и уједначености материјала.

Ове карактеристике чине електронску оценухидроген хлоридВажно средство за обраду у полуводичкој технологији, која има кључни утицај на перформансе и поузданост коначног уређаја.

Поред њене употребе у полуводичкој обради, електронски хлорион хлориде може пронаћи различите намене у другим областима, укључујући: припрему високог чистоћих материјала, горивних ћелија, раста полуводича, литографије фазе, анализа фазе паре, анализе и хемијска истраживања.

Генерално, електронски разредхидроген хлоридје свестран, висок плински гас који има широк спектар апликација изван производње полуводича.