У производном процесу ливних ливних лива за полуводиче са релативно напредним производним процесима потребно је скоро 50 различитих врста гасова. Гасови су углавном подељени у скупне гасове иСпецијални гасови.

Примена гасова у микроелектронику и полуводичкој индустрији Употреба гасова је увек одиграла важну улогу у поступцима полуводича, посебно се полуводичка процеса широко користи у разним индустријама. Од УЛСИ-ја, ТФТ-ЛЦД до тренутних микро-електромеханичких (МЕМ-ових) индустрија, се полуводички процеси производе, укључујући процесе производње производа, укључујући суво јеткање, оксидацију, ионску имплантацију, танкој таложи итд.

На пример, многи људи знају да су чипови направљени од песка, али гледајући цео процес производње чипова, потребно је више материјала, као што је фоторизатор, полирање течности, циљани материјал, специјални гас итд. Су неопходни. Затраживање бацк-енд паковања такође захтева подлоге, интерзотери, оловне оквире, материјали за лепљење итд. Разних материјала. Електронски специјални гасови су други по величини материјал у трошковима производње полуводича након силицијумског трупа, праћене од стране маски и фоторесисте.

Чистоћа гаса има пресудан утицај на перформансе компонената и принос производа и сигурност снабдевања гасом односи се на здравље особља и сигурност фабричког рада. Зашто чистоћа гаса има тако велики утицај на линију процеса и особља? Ово није претеривање, али је одређено опасним карактеристикама самог гаса.

Класификација заједничких гасова у полуводичкој индустрији

Обичан гас

Обичан гас се такође назива расути гас: Односи се на индустријски гас са захтевима чистоће нижим од 5Н и великом производњом и волумом продаје и продаје. Може се поделити на гас од раздвајања ваздуха и синтетички гас у складу са различитим методама припреме. Водоник (Х2), азот (Н2), кисеоник (О2), аргон (А2) итд.;

Специјални гас

Специјални гас односи се на индустријски гас који се користи у одређеним пољима и има посебне захтеве за чистоћу, сорту и својства. УглавномСих4, ПХ3, б2Х6, А8Х3,ХЦл, ЦФ4,НХ3, ПОЦЛ3, сих2цл2, сихцл3,НХ3, БЦЛ3, СИФ4, ЦЛФ3, ЦО, Ц2Ф6, Н2О, Ф2, ХФ, ХБР,СФ6... и тако даље.

Врсте писачких гасова

Врсте специјалних гасова: корозивно, токсично, запаљиво, подржавање сагоревања, инерт итд.
Обично коришћени полуводички гасови класификовани су на следећи начин:
(и) Корозивни / токсични:ХЦл, БФ3, ВФ6, ХБР, СИХ2Цл2, НХ3, ПХ3, ЦЛ2,БЦЛ3...
(ии) Запаљиво: Х2,ЦХ4,Сих4, Пх3, асх3, сих2цл2, б2Х6, цх2ф2, цх3ф, цо ...
(иии) запаљив: О2, ЦЛ2, Н2О, НФ3 ...
(ив) инерт: н2,ЦФ4, Ц2Ф6,Ц4Ф8,СФ6, ЦО2,Ne,Kr, Он ...

У процесу производње чипа полуводича, око 50 различитих врста специјалних гасова (назива се посебним гасовима) користи се у оксидацији, дифузији, таложењу, јеткању, убризгавању, фотолитографији и другим процесима и укупни кораци процеса прелазе стотине. На пример, ПХ3 и АСХ3 користе се као фосфорни и арсенски извори у процесу ИОН-а у поступку имплантације ЦФ4, ЦХФ3, СФ6 и халогени гасови ЦФ4, БЦИ3, ХБР се обично користе у процесу јеткања, СИХ4, НХ3, КР / НЕ у процесу фотолитације.

Из горе наведених аспеката можемо схватити да су многи полуводички гасови штетни за људско тело. Конкретно, неки од гасова, попут СИХ4, само-запаљивање. Све док цуре, насилно ће реаговати са кисеоником у ваздуху и почните да гори; А АСХ3 је врло токсичан. Свако благо цурење може нанијети штету животу људи, па су захтеви за безбедност дизајна управљачког система за употребу посебних гасова посебно високи.

Полуводичи захтевају да се гасови са високим чистоћима имају "три степена"

Гасна чистоћа

Садржај нечистоће атмосфере у гасу обично се изражава као проценат чистоће гаса, као што је 99.9999%. Генерално гледано, захтев за чистоће за електронске посебне гасове достиже 5Н-6Н, а такође је изражава и од омјера запремине нечистоће садржаја атмосфере, ППМ (део на милион) и ппт (део по билијалу). Електронско полуводичко поље има највише услове за чистоћу и квалитетну стабилност посебних гасова, а чистоћа електронских специјалних гасова је углавном већа од 6Н.

Сувоћа

Садржај воде у траговима у гасу или влажности, обично се изражава у тачки росе, попут атмосферске тачке росе -70 ℃.

Чистоћа

Број честица загађивача у гасу, честице са величином честица уМ, изражено је у колико честица / м3. За компримовани ваздух обично се изражава у мг / м3 незаобилазних чврстих остатака, који укључује садржај уља.