Највећа количина електронског специјалног гаса – азот-трифлуорид NF3

Полупроводничка индустрија и индустрија панела у нашој земљи одржавају висок ниво просперитета. Азот трифлуорид, као неопходан и најзаступљенији специјални електронски гас у производњи и обради панела и полупроводника, има широк тржишни простор.

Уобичајено коришћени специјални електронски гасови који садрже флуор укључујусумпор хексафлуорид (SF6), волфрам хексафлуорид (ВФ6),угљен-тетрафлуорид (CF4), трифлуорометан (CHF3), азот-трифлуорид (NF3), хексафлуороетан (C2F6) и октафлуоропропан (C3F8). Азот-трифлуорид (NF3) се углавном користи као извор флуора за високоенергетске хемијске ласере са водоник-флуоридом. Ефективни део (око 25%) енергије реакције између H2-O2 и F2 може се ослободити ласерским зрачењем, тако да су HF-OF ласери најперспективнији ласери међу хемијским ласерима.

Азот трифлуорид је одличан гас за плазма нагризање у микроелектронској индустрији. За нагризање силицијума и силицијум нитрида, азот трифлуорид има већу брзину нагризања и селективност од угљен тетрафлуорида и смеше угљен тетрафлуорида и кисеоника, и не загађује површину. Посебно код нагризања материјала интегрисаних кола дебљине мање од 1,5 μm, азот трифлуорид има веома одличну брзину нагризања и селективност, не остављајући остатке на површини нагризаног предмета, а такође је и веома добро средство за чишћење. Са развојем нанотехнологије и великим развојем електронске индустрије, његова потражња ће се повећавати из дана у дан.

Као врста специјалног гаса који садржи флуор, азот-трифлуорид (NF3) је највећи производ специјалног гаса за електронику на тржишту. Хемијски је инертан на собној температури, активнији од кисеоника, стабилнији од флуора и лак за руковање на високим температурама.

Азот трифлуорид се углавном користи као гас за плазма нагризање и средство за чишћење реакционих комора, погодан за производне области као што су полупроводнички чипови, равни дисплеји, оптичка влакна, фотонапонске ћелије итд.

У поређењу са другим електронским гасовима који садрже флуор, азот-трифлуорид има предности брзе реакције и високе ефикасности, посебно код нагризања материјала који садрже силицијум, као што је силицијум нитрид. Има високу брзину нагризања и селективност, не оставља остатке на површини нагризаног предмета, а такође је веома добро средство за чишћење, не загађује површину и може задовољити потребе процеса обраде.