Уобичајени специјални електронски гасови који садрже флуор укључујусумпор хексафлуорид (СФ6), волфрам хексафлуорид (ВФ6),угљен-тетрафлуорид (ЦФ4), трифлуорометан (ЦХФ3), азот трифлуорид (НФ3), хексафлуороетан (Ц2Ф6) и октафлуоропропан (Ц3Ф8).
Са развојем нанотехнологије и великим развојем електронске индустрије, њена потражња ће се повећавати из дана у дан. Азот трифлуорид, као незаменљив и најкоришћенији специјални електронски гас у производњи и преради панела и полупроводника, има широк тржишни простор.
Као врста специјалног гаса који садржи флуор,азот трифлуорид (НФ3)је електронски специјални гасни производ са највећим тржишним капацитетом. Хемијски је инертан на собној температури, активнији је од кисеоника на високој температури, стабилнији од флуора и лак за руковање. Азот трифлуорид се углавном користи као гас за нагризање плазме и средство за чишћење реакционих комора, а погодан је за производна поља полупроводничких чипова, равних дисплеја, оптичких влакана, фотонапонских ћелија итд.
У поређењу са другим електронским гасовима који садрже флуор,азот трифлуоридима предности брзе реакције и високе ефикасности. Посебно у нагризању материјала који садрже силицијум као што је силицијум нитрид, има високу стопу јеткања и селективност, не остављајући остатке на површини угравираног предмета. Такође је веома добро средство за чишћење и нема загађење површине, што може задовољити потребе процеса обраде.
Време поста: 14.09.2024
