Уобичајени посебни електронски гасови који садрже флуор који садржиСулпхур Хекафлуориде (СФ6), волфрам Хекафлуориде (ВФ6),Царбон Тетрафлуориде (ЦФ4), трифлуорометан (ЦХФ3), азот трифлуорид (НФ3), хексафлуороетхан (Ц2Ф6) и октафлуоропропан (Ц3Ф8).
Са развојем нанотехнологије и великим развојем електроничке индустрије, његова потражња ће се повећати из дана у дан. Трифлуорид азота, као неопходан и највећи специјални електронски гас у производњи и преради плоча и полуводича, има широк тржишни простор.
Као врста специјалног гаса која садржи флуорину,Азот трифлуорид (НФ3)је електронски специјални гасни производ са највећим тржишним капацитетом. Хемијски је инертан на собној температури, активнији од кисеоника на високом температури, стабилнији од флуорина и лако се рукује. Трифлуорид азота углавном се користи као гас за етовање плазме и средство за чишћење реакционог комора и погодно је за производњу поља полуводичких чипова, расписе са равним плочама, оптичким влакнима, фотонапонским ћелијама итд.
У поређењу с другим електронским гасовима који садржи флуор,Азот трифлуоридима предности брзе реакције и високе ефикасности. Поготово у сушишту материјала који садржи силицијум као што је силицијум нитрида, има високу стопу и селективност, не остављајући остатке на површини јетканог објекта. Такође је веома добро средство за чишћење и нема загађење на површини, што може задовољити потребе процеса обраде.
Вријеме поште: сеп-14-2024
