Уобичајени специјални електронски гасови који садрже флуор укључујусумпор хексафлуорид (SF6), волфрам хексафлуорид (ВФ6),угљен-тетрафлуорид (CF4), трифлуорометан (CHF3), азот-трифлуорид (NF3), хексафлуороетан (C2F6) и октафлуоропропан (C3F8).
Са развојем нанотехнологије и великим развојем електронске индустрије, његова потражња ће се повећавати из дана у дан. Азот трифлуорид, као неопходан и најкоришћенији специјални електронски гас у производњи и обради панела и полупроводника, има широк тржишни простор.
Као врста специјалног гаса који садржи флуор,азот-трифлуорид (NF3)је електронски специјални гас са највећим тржишним капацитетом. Хемијски је инертан на собној температури, активнији од кисеоника на високој температури, стабилнији од флуора и лак за руковање. Азот трифлуорид се углавном користи као гас за плазма нагризање и средство за чишћење реакционих комора, а погодан је за производњу полупроводничких чипова, равних дисплеја, оптичких влакана, фотонапонских ћелија итд.
У поређењу са другим електронским гасовима који садрже флуор,азот-трифлуоридИма предности брзе реакције и високе ефикасности. Посебно код нагризања материјала који садрже силицијум, као што је силицијум нитрид, има високу брзину нагризања и селективност, не остављајући остатке на површини нагризаног предмета. Такође је веома добро средство за чишћење и не загађује површину, што може задовољити потребе процеса обраде.
Време објаве: 14. септембар 2024.
