Улога сумпор-хексафлуорида у силиконском нитридном јеткању

Сумпор хекафлуорид је гас са одличним изолационим својствима и често се користи у високонапонским гашењем АРЦ-а и трансформаторима високонапонске преносне линије, трансформаторима итд. Међутим, поред ових функција, сумпор хексафлуорид се такође може користити као електронски јебрант. Електронска разреда висока чистоћа сумпора је хексафлуорид идеалан електронски етцхант, који се широко користи у области микроелектронске технологије. Данас НИУ РУИДЕ Специјални уредник гаса Иуеиуе ће представити примјену сумпор-хексафлуорида у силиконском нитридном јеткању и утицају различитих параметара.

Расправљамо о процесу Синк Синк Синк-у СФ6, укључујући промјену плазме, односио је на гас СФ6 / и додавши катионски гас О2, расправљајући о њеном утицају на стопу заштите од Синк елемента СИНКС-а, и коришћење плазмима у плазмима, а на плазмима СФ6 и СФ6, и СФ6 у плазми и СФ6 у плазми и СФ6 у плазми и СФ6. и истражује однос између промене брзине струје и концентрације врста у плазми.

Студије су откриле да када се повећава плазма моћ повећава, стопа јеткање расте; Ако је брзина протока СФ6 у плазми повећана, концентрација Ф Атома расте и позитивно је повезана са стопом за струјање. Поред тога, након што је додао катионски гас О2 под фиксном укупном протоком, он ће имати ефекат повећања стопе јетка, али под различитим омјерима протока О2 / СФ6, постоје различити реакциони механизми, који се могу поделити на три дела: (1) О2 / СФ6 Проток протока је врло мали, О2 може да помогне дисоцијацији СФ6, а брзина СФ6 је већа од када је О2 не додаје. (2) када је омјер протока О2 / СФ6 већи од 0,2 у интервал који се приближава 1, у то време, због велике количине дисоцијације СФ6-а да би се Ф атома формирала, стопа суткање је највиша; Али истовремено, о атомима у плазми се такође повећавају и лако је формирати СиокОКС или Синко (ИКС) са Синк-овим филмским површином, а више о повећања атома, то ће се теже фломи за реакцију јетњене. Стога је стопатка за уништавање почиње успорити када је омјер О2 / СФ6 близу 1. (3) када је омјер О2 / СФ6 веће од 1, адекватна стопа се смањује. Због великог повећања О2, дисоцирани Ф атоми се сударају са О2 и обликом, што смањује концентрацију Ф атома, што резултира смањењем стопе јеткања. Из овога се види да када је О2 додат, однос протока О2 / СФ6 је између 0,2 и 0,8, а може се добити најбоља стопа суткања.