Улога сумпор хексафлуорида у јеткању силицијум нитридом

Сумпор хексафлуорид је гас са одличним изолационим својствима и често се користи у гашењу лука високог напона и трансформаторима, високонапонским далеководима, трансформаторима, итд. Међутим, поред ових функција, сумпор хексафлуорид се може користити и као електронски нагризај. . Електронски сумпор хексафлуорид високе чистоће је идеалан електронски нагризач, који се широко користи у области технологије микроелектронике. Данас ће Ниу Руиде уредник специјалног гаса Иуеиуе представити примену сумпор хексафлуорида у нагризању силицијум нитрида и утицај различитих параметара.

Разговарамо о процесу нагризања СФ6 плазмом СиНк, укључујући промену снаге плазме, гасног односа СФ6/Хе и додавање катјонског гаса О2, расправљамо о његовом утицају на брзину нагризања заштитног слоја СиНк елемента ТФТ-а и коришћењем зрачења плазме. спектрометар анализира промене концентрације сваке врсте у плазми СФ6/Хе, СФ6/Хе/О2 и стопу дисоцијације СФ6, и истражује однос између промене брзине нагризања СиНк и концентрације врста у плазми.

Студије су откриле да када се повећа снага плазме, брзина нагризања се повећава; ако је брзина протока СФ6 у плазми повећана, концентрација Ф атома се повећава и у позитивној је корелацији са брзином нагризања. Поред тога, након додавања катјонског гаса О2 под фиксним укупним протоком, то ће имати ефекат повећања брзине нагризања, али под различитим односима протока О2/СФ6, постојаће различити реакциони механизми, који се могу поделити на три дела : (1) Однос протока О2/СФ6 је веома мали, О2 може помоћи у дисоцијацији СФ6, а брзина нагризања је у овом тренутку већа него када се О2 не додаје. (2) Када је однос протока О2/СФ6 већи од 0,2 до интервала који се приближава 1, у овом тренутку, због велике количине дисоцијације СФ6 да би се формирали Ф атоми, брзина нагризања је највећа; али у исто време, О атоми у плазми се такође повећавају и Лако је формирати СиОк или СиНкО(ик) са површином филма СиНк, а што се више О атома повећава, то ће атоми Ф бити тежи за реакција јеткања. Стога, брзина нагризања почиње да се успорава када је однос О2/СФ6 близу 1. (3) Када је однос О2/СФ6 већи од 1, брзина нагризања се смањује. Због великог повећања О2, дисоцирани Ф атоми се сударају са О2 и формирају ОФ, што смањује концентрацију Ф атома, што резултира смањењем брзине нагризања. Из овога се може видети да када се дода О2, однос протока О2/СФ6 је између 0,2 и 0,8 и може се добити најбоља брзина нагризања.