Елецтроницспецијални гасовису важна грана специјалних гасова. Они продиру у скоро сваку карику производње полупроводника и незаменљива су сировина за производњу електронских индустрија као што су интегрисана кола ултра великих размера, уређаји са равним екраном и соларне ћелије.

У технологији полупроводника, гасови који садрже флуор се широко користе. Тренутно, на глобалном тржишту електронског гаса, електронски гасови који садрже флуор чине око 30% укупног броја. Електронски гасови који садрже флуор су важна компонента специјалних електронских гасова у области електронских информационих материјала. Углавном се користе као средства за чишћење и јеткање, а могу се користити и као додаци, материјали за формирање филма итд. У овом чланку, аутор ће вас повести да разумете уобичајене гасове који садрже флуор.

Следећи су обично коришћени гасови који садрже флуор

Азот трифлуорид (НФ3): Гас који се користи за чишћење и уклањање наслага, обично се користи за чишћење реакционих комора и површина опреме.

сумпор хексафлуорид (СФ6): Средство за флуорисање које се користи у процесима таложења оксида и као изолациони гас за пуњење изолационих медија.

Водоник-флуорид (ХФ): Користи се за уклањање оксида са површине силицијума и као средство за нагризање силицијума и других материјала.

Азот флуорид (НФ): Користи се за јеткање материјала као што су силицијум нитрид (СиН) и алуминијум нитрид (АлН).

Трифлуорометан (ЦХФ3) итетрафлуорометан (ЦФ4): Користи се за јеткање флуоридних материјала као што су силицијум флуорид и алуминијум флуорид.

Међутим, гасови који садрже флуор имају одређене опасности, укључујући токсичност, корозивност и запаљивост.

Токсичност

Неки гасови који садрже флуор су токсични, као што је флуороводоник (ХФ), чија пара веома иритира кожу и респираторни тракт и штетна је за здравље људи.

Корозивност

Водоник-флуорид и неки флуориди су веома корозивни и могу изазвати озбиљна оштећења коже, очију и респираторног тракта.

Запаљивост

Неки флуориди су запаљиви и реагују са кисеоником или водом у ваздуху и ослобађају интензивну топлоту и токсичне гасове, што може изазвати пожар или експлозију.

Опасност од високог притиска

Неки флуорисани гасови су експлозивни под високим притиском и захтевају посебну пажњу када се користе и складиште.

Утицај на животну средину

Гасови који садрже флуор имају висок век трајања атмосфере и вредности ГВП-а, који имају деструктивни ефекат на атмосферски озонски омотач и могу изазвати глобално загревање и загађење животне средине.

Примена гасова у новим областима као што је електроника наставља да се продубљује, доносећи велику количину нове потражње за индустријским гасовима. На основу велике количине нових производних капацитета главних електронских компоненти као што су полупроводници и дисплеји у континенталној Кини у наредних неколико година, као и јаке потражње за супституцијом увоза електронских хемијских материјала, домаћа електронска гасна индустрија ће покренути висока стопа раста.