Електронскаспецијални гасовису важна грана специјалних гасова. Они продиру у скоро сваку карику производње полупроводника и представљају неопходне сировине за производњу електронске индустрије као што су интегрисана кола ултра великих размера, уређаји са равним екранима и соларне ћелије.

У полупроводничкој технологији, гасови који садрже флуор се широко користе. Тренутно, на глобалном тржишту електронских гасова, електронски гасови који садрже флуор чине око 30% од укупне количине. Електронски гасови који садрже флуор су важна компонента специјалних електронских гасова у области електронских информационих материјала. Углавном се користе као средства за чишћење и средства за нагризање, а могу се користити и као допанти, материјали за формирање филмова итд. У овом чланку, аутор ће вас упознати са уобичајеним гасовима који садрже флуор.

Следећи су уобичајено коришћени гасови који садрже флуор

Азот трифлуорид (NF3): Гас који се користи за чишћење и уклањање наслага, обично се користи за чишћење реакционих комора и површина опреме.

Сумпор хексафлуорид (SF6)Флуорирајуће средство које се користи у процесима таложења оксида и као изолациони гас за пуњење изолационих медија.

Водоник-флуорид (HF): Користи се за уклањање оксида са површине силицијума и као средство за нагризање силицијума и других материјала.

Азот-флуорид (NF): Користи се за нагризање материјала као што су силицијум нитрид (SiN) и алуминијум нитрид (AlN).

Трифлуорометан (CHF3) итетрафлуорометан (CF4)Користи се за нагризање флуоридних материјала као што су силицијум флуорид и алуминијум флуорид.

Међутим, гасови који садрже флуор носе одређене опасности, укључујући токсичност, корозивност и запаљивост.

Токсичност

Неки гасови који садрже флуор су токсични, као што је водоник-флуорид (HF), чија пара јако иритира кожу и респираторни тракт и штетна је по људско здравље.

Корозивност

Водоник-флуорид и неки флуориди су веома корозивни и могу изазвати озбиљна оштећења коже, очију и респираторног тракта.

Запаљивост

Неки флуориди су запаљиви и реагују са кисеоником или водом у ваздуху ослобађајући интензивну топлоту и токсичне гасове, што може изазвати пожар или експлозију.

Опасност од високог притиска

Неки флуорисани гасови су експлозивни под високим притиском и захтевају посебну пажњу при употреби и складиштењу.

Утицај на животну средину

Гасови који садрже флуор имају висок атмосферски век трајања и вредности GWP-а, што има деструктиван ефекат на атмосферски озонски омотач и може изазвати глобално загревање и загађење животне средине.

Примена гасова у областима у развоју, као што је електроника, наставља да се продубљује, што доноси велику нову потражњу за индустријским гасовима. На основу великог броја нових производних капацитета главних електронских компоненти, као што су полупроводници и дисплеји, у континенталној Кини у наредних неколико година, као и јаке потражње за заменом увоза електронских хемијских материјала, домаћа индустрија електронских гасова ће остварити високу стопу раста.