ЕлектронскиСпецијални гасовису важна грана посебних гасова. Продире у готово сваку везу производње полуводича и неопходни су сировине за производњу електронских индустрија, као што су ултра-обични интегрисани кругови, уређаји за приказ равног панела и соларне ћелије.

У полуводичкој технологији се гасови који садрже флуорини се широко користе. Тренутно на глобалном тржишту електронског гаса, електронски електронски гасови чине око 30% укупног броја. Електронски гасови који садрже флуор је важна компонента посебних електронских гасова у области електронских информационих материјала. Они се углавном користе као средства за чишћење и агенти за сушти, а могу се користити и као допанти, материјали за филмске филмове итд. У овом чланку ће вас аутор одвести да разумете заједничке гасове који садрже флуор.

Следеће се обично користе гасове који садрже флуор

Трифлуорид азота (НФ3): гас који се користи за чишћење и уклањање депозита, обично се користи за чишћење реакционих комора и површина опреме.

Сулпхур Хекафлуориде (СФ6): Агент за флуорирајуће се користи у процесима омаловажавања оксида и као изолациони гас за попуњавање изолационих медија.

Флуорид водоника (ХФ): користи се за уклањање оксида са површине силицијума и као јебант за јетњи силицијум и друге материјале.

Азот флуорид (НФ): користи се за етцх материјале као што су силицијум нитрида (грех) и алуминијум нитрида (АЛН).

Трифлуорометхане (ЦХФ3) иТетрафлуорометхане (ЦФ4): Користи се за етцх флуоридне материјале као што су силицијум флуорид и алуминијум флуорид.

Међутим, гасови који садрже флуор имају одређене опасности, укључујући токсичност, корозивност и запаљивост.

Токсичност

Неки гасови који садрже флуорински су токсични, као што су флуорид водоника (ХФ), чија је паре високо иритира на кожи и дисајни тракт и штетно за здравље људи.

Корозивност

Флуорид водоника и неки флуориди су високо корозивни и могу проузроковати озбиљну штету на кожи, очима и дисајним путевима.

Запаљивост

Неки флуориди су запаљиви и реагују са кисеоником или водом у ваздуху да би се ослободио интензивне топлоте и токсичних гасова, што може проузроковати пожар или експлозију.

Опасност високог притиска

Неки флуорирани гасови су експлозивни под високим притиском и захтевају посебну негу када се користе и чувају.

Утицај на животну средину

Гасови који садрже флуорински имају високе атмосферске животне векове и ГВП вредности, које имају деструктивни ефекат на атмосферски озонски омотач и могу проузроковати глобално загађење у глобалном загазивању и животној средини.

Примена гасова у настајаним пољима попут електронике и даље продубљује, доносећи велику количину нове потражње за индустријским гасовима. На основу велике количине нових производних капацитета великих електронских компоненти као што су полуводичи и приказивају панеле у копну, као и снажна потражња за увозом супституције електронских хемијских материјала, домаћа електронска гасна индустрија ће ући у високу стопу раста.