Компонента | 99,9999% | Јединица |
Кисеоник (Ar) | ≤0,1 | ppmV |
Азот | ≤0,1 | ppmV |
Водоник | ≤20 | ppmV |
Хелијум | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0,1 | ppmV |
ТХЦ | ≤0,1 | ppmV |
Хлорсилани | ≤0,1 | ppmV |
Дисилоксан | ≤0,1 | ppmV |
Дисилан | ≤0,1 | ppmV |
Влага (H2O) | ≤0,1 | ppmV |
Силан је једињење силицијума и водоника. То је општи назив за низ једињења, укључујући моносилан (SiH4), дисилан (Si2H6) и нека једињења силицијум-водоника вишег нивоа. Међу њима је моносилан најчешћи, понекад се скраћено назива силан. Силан је безбојни гас са одвратним мирисом белог лука. Растворљив у води, готово нерастворљив у етанолу, етру, бензену, хлороформу, силицијум хлороформу и силицијум тетрахлориду. Хемијска својства силана су много активнија од алкана и лако се оксидују. Спонтано сагоревање може настати када је у контакту са ваздухом. Не реагује са азотом испод 25°C, и не реагује са угљоводоничним једињењима на собној температури. Пожар и експлозија силана су резултат реакције са кисеоником. Силан је изузетно осетљив на кисеоник и ваздух. Силан одређене концентрације ће такође експлозивно реаговати са кисеоником на температури од -180°C. Силан је постао најважнији специјални гас који се користи у процесима полупроводничке микроелектронике и користи се у припреми разних микроелектронских филмова, укључујући монокристалне филмове, микрокристалне, поликристалне, силицијум оксидне, силицијум нитридне и металне силициде. Микроелектронске примене силана се још увек дубоко развијају: нискотемпературна епитаксија, селективна епитаксија и хетероепитаксијална епитаксија. Не само за силицијумске уређаје и силицијумска интегрисана кола, већ и за сложене полупроводничке уређаје (галијум арсенид, силицијум карбид, итд.). Такође има примену у припреми суперрешеткастих квантних материјала за бунаре. Може се рећи да се силан користи у скоро свим напредним производним линијама интегрисаних кола у модерно доба. Примена силана као филма и премаза који садрже силицијум проширила се из традиционалне микроелектронске индустрије на различите области као што су челик, машине, хемикалије и оптика. Још једна потенцијална примена силана је производња високоперформансних керамичких делова мотора, посебно употреба силана за производњу силицидних (Si3N4, SiC, итд.) микропрашних технологија привлачи све већу пажњу.
①Електронски:
Силан се наноси на поликристалне силицијумске слојеве на силицијумским плочицама приликом производње полупроводника и заптивача.
②Соларно:
Силан се користи у производњи соларних фотонапонских модула.
③Индустријски:
Користи се у енергетски штедљивом зеленом стаклу и примењује се у поступку танког филма наношењем паре.
Производ | Силан SiH4 течност | |
Величина пакета | Боца од 47 литара | Y-440L |
Нето тежина пуњења/цилиндар | 10 кг | 125 кг |
КОЛИЧИНА Утоварена у контејнер од 20 стопа | 250 цилиндара | 8 цилиндара |
Укупна нето тежина | 2,5 тоне | 1 тона |
Тара тежина цилиндра | 52 кг | 680 кг |
Вентил | CGA632/DISS632 |
①Више од десет година на тржишту;
②Произвођач са ИСО сертификатом;
③Брза достава;
④Стабилан извор сировина;
⑤Онлајн систем анализе за контролу квалитета у сваком кораку;
⑥Високи захтеви и пажљив поступак руковања цилиндром пре пуњења;
⑦Чистоћа: електронски квалитет високе чистоће;
⑧Употреба: материјали за соларне ћелије; израда полисилицијума високе чистоће, силицијум оксида и оптичких влакана; производња обојеног стакла.