силан (СиХ4)

Тецхницал Параметерс

Силан је једињење силицијума и водоника. То је општи термин за низ једињења, укључујући моносилан (СиХ4), дисилан (Си2Х6) и нека једињења силицијум-водоник вишег нивоа. Међу њима, моносилан је најчешћи, понекад се скраћено назива силан. Силан је безбојни гас са одвратним мирисом белог лука. Растворљив у води, скоро нерастворљив у етанолу, етру, бензену, хлороформу, силицијум хлороформу и силицијум тетрахлориду. Хемијска својства силана су много активнија од алкана и лако се оксидирају. У контакту са ваздухом може доћи до спонтаног сагоревања. Не реагује са азотом испод 25°Ц, и не реагује са угљоводоничним једињењима на собној температури. Пожар и експлозија силана су резултат реакције са кисеоником. Силан је изузетно осетљив на кисеоник и ваздух. Силан са одређеном концентрацијом такође ће реаговати експлозивно са кисеоником на температури од -180°Ц. Силан је постао најважнији специјални гас који се користи у процесима полупроводничке микроелектронике, а користи се у припреми различитих микроелектронских филмова, укључујући монокристалне филмове, микрокристалне, поликристалне, силицијум оксид, силицијум нитрид и металне силициде. Микроелектронске примене силана се још увек развијају у дубини: нискотемпературна епитаксија, селективна епитаксија и хетероепитаксијална епитаксија. Не само за силицијумске уређаје и силицијумска интегрисана кола, већ и за сложене полупроводничке уређаје (галијум арсенид, силицијум карбид, итд.). Такође има примену у припреми материјала за квантне бунаре суперрешетке. Може се рећи да се силан користи у скоро свим напредним производним линијама интегрисаних кола у савремено доба. Примена силана као филма и премаза који садржи силицијум проширила се из традиционалне микроелектронске индустрије на различите области као што су челик, машине, хемикалије и оптика. Још једна потенцијална примена силана је производња керамичких делова мотора високих перформанси, посебно употреба силана за производњу силицидне (Си3Н4, СиЦ, итд.) технологије микропраха привлачи све више пажње.

апликација:

①Електронски:

Силан се наноси на слојеве поликристалног силицијума на силицијумским плочицама када се производе полупроводници и заптивачи.

②Соларни:

Силан се користи у производњи соларних фотонапонских модула.

③Индустријски:

Користи се у зеленом стаклу за уштеду енергије и примењује се на процес танког филма таложења паром.

Нормалан пакет:

предност:

①Више од десет година на тржишту;

② Произвођач ИСО сертификата;

③Брза испорука;

④Стабилан извор сировина;

⑤Он-лине систем анализе за контролу квалитета у сваком кораку;

⑥ Високи захтеви и педантан процес за руковање цилиндром пре пуњења;

⑦Чистоћа: електронски разред високе чистоће;

⑧Употреба: материјали соларних ћелија; прављење полисилицијума високе чистоће, силицијум оксида и оптичких влакана; производња обојеног стакла.