У 2018. години, глобално тржиште електронског гаса за интегрисана кола достигло је 4,512 милијарди америчких долара, што је повећање од 16% у односу на претходну годину. Висока стопа раста индустрије специјалних електронских гасова за полупроводнике и огромна величина тржишта убрзали су домаћи план супституције специјалним електронским гасом!
Шта је електронски гас?
Електронски гас се односи на основни изворни материјал који се користи у производњи полупроводника, равних дисплеја, светлосних диода, соларних ћелија и других електронских производа, и широко се користи у чишћењу, нагризању, формирању филмова, допирању и другим процесима. Главна подручја примене електронског гаса укључују електронску индустрију, соларне ћелије, мобилне комуникације, аутомобилску навигацију и аутомобилске аудио и видео системе, ваздухопловство, војну индустрију и многе друге области.
Специјални гасови за електронику могу се поделити у седам категорија према свом хемијском саставу: силицијум, арсен, фосфор, бор, метални хидрид, халид и метални алкоксид. Према различитим методама примене у интегрисаним колима, могу се поделити на допинг гас, гас за епитаксију, гас за јонску имплантацију, гас за светлосне диоде, гас за нагризање, гас за хемијско таложење паром и балансни гас. Постоји више од 110 јединичних специјалних гасова који се користе у полупроводничкој индустрији, од којих се више од 30 најчешће користи.
Генерално, индустрија производње полупроводника дели гасове на две врсте: уобичајене гасове и специјалне гасове. Међу њима, уобичајени гас се односи на централизовано снабдевање и користи много гаса, као што су N2, H2, O2, Ar, He итд. Специјални гас се односи на неке хемијске гасове који се користе у процесу производње полупроводника, као што су екстензија, убризгавање јона, мешање, прање и формирање маске, што сада називамо електронским специјалним гасом, као што су високочисти SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 итд.
У целом производном процесу полупроводничке индустрије, од раста чипова до коначног паковања уређаја, скоро свака веза је неодвојива од електронског специјалног гаса, а разноврсност коришћеног гаса и захтеви за високим квалитетом су неодвојиви, тако да електронски гас има полупроводничке материјале. „Храна“.
Последњих година, производни капацитети главних електронских компоненти у Кини, као што су полупроводници и дисплеји, повећани су, а постоји и велика потражња за заменом увоза електронских хемијских материјала. Позиција електронских гасова у полупроводничкој индустрији постаје све истакнутија. Домаћа индустрија електронских гасова ће донети брз раст.
Специјални електронски гас има веома високе захтеве за чистоћу, јер ако чистоћа није испуњена, нечистоће попут водене паре и кисеоника у специјалном електронском гасу лако ће формирати оксидни филм на површини полупроводника, што утиче на век трајања електронских уређаја, а честице нечистоћа које садржи специјални електронски гас могу изазвати кратке спојеве полупроводника и оштећења кола. Може се рећи да побољшање чистоће игра виталну улогу у приносу и перформансама производње електронских уређаја.
Са континуираним развојем полупроводничке индустрије, процес производње чипова се наставља побољшавати и сада је достигао 5 nm, што је ускоро близу границе Муровог закона, која је еквивалентна једној двадесетини пречника људске длаке (око 0,1 mm). Стога, ово такође поставља веће захтеве за чистоћу електронског специјалног гаса који производе полупроводници.
Време објаве: 15. децембар 2021.
