У 2018, глобално тржиште електронског гаса за интегрисана кола достигло је 4,512 милијарди долара, што је повећање од 16% у односу на претходну годину.Висока стопа раста електронске индустрије специјалног гаса за полупроводнике и огромна величина тржишта убрзали су домаћи план замене електронским специјалним гасом!
Шта је електронски гас?
Електронски гас се односи на основни изворни материјал који се користи у производњи полупроводника, равних дисплеја, диода које емитују светлост, соларних ћелија и других електронских производа, и широко се користи у чишћењу, нагризању, формирању филма, допингу и другим процесима.Главне области примене електронског гаса укључују електронску индустрију, соларне ћелије, мобилне комуникације, ауто навигацију и ауто аудио и видео системе, ваздухопловство, војну индустрију и многе друге области.
Електронски специјални гас се може поделити у седам категорија према сопственом хемијском саставу: силицијум, арсен, фосфор, бор, метал хидрид, халид и метални алкоксид.Према различитим методама примене у интегрисаним колима, може се поделити на допинг гас, епитаксијски гас, гас за имплантацију јона, гас диоде који емитује светлост, гас за јеткање, гас за таложење хемијске паре и балансни гас.Постоји више од 110 јединица специјалних гасова који се користе у индустрији полупроводника, од којих се више од 30 обично користи.
Генерално, индустрија производње полупроводника дели гасове на две врсте: обичне гасове и посебне гасове.Међу њима, најчешће коришћени гас се односи на централизовано снабдевање и користи много гаса, као што су Н2, Х2, О2, Ар, Хе, итд. Специјални гас се односи на неке хемијске гасове који се користе у процесу производње полупроводника, као нпр. проширење, убризгавање јона, мешање, прање и формирање маске, што је оно што сада називамо електронски специјални гас, као што су СиХ4, ПХ3, АсХ3, Б2Х6, Н2О, НХ3, СФ6, НФ3, ЦФ4, БЦл3, БФ3, ХЦл, Цл2, итд.
У целом производном процесу индустрије полупроводника, од раста чипа до коначног паковања уређаја, скоро свака карика је неодвојива од електронског специјалног гаса, разноврсности гаса који се користи и захтева високог квалитета, тако да електронски гас има полупроводничке материјале."Храна".
Последњих година, главне кинеске електронске компоненте, као што су полупроводници и дисплеји, повећале су се у новим производним капацитетима, а постоји и велика потражња за супституцијом увоза електронских хемијских материјала.Положај електронских гасова у индустрији полупроводника постаје све истакнутији.Домаћа електронска гасна индустрија ће започети брзи раст.
Електронски специјални гас има веома високе захтеве за чистоћом, јер ако чистоћа није у складу са захтевима, групе нечистоћа као што су водена пара и кисеоник у електронском специјалном гасу ће лако формирати оксидни филм на површини полупроводника, што утиче на радни век електронских уређаја, а електронски специјални гас садржи Честице нечистоћа могу изазвати кратке спојеве полупроводника и оштећења кола.Може се рећи да побољшање чистоће игра виталну улогу у приносу и перформансама производње електронских уређаја.
Са континуираним развојем индустрије полупроводника, процес производње чипова наставља да се побољшава, и сада је достигао 5нм, што се приближава граници Муровог закона, што је еквивалентно једној двадесетини пречника људске косе ( око 0,1 мм).Стога, ово такође поставља веће захтеве за чистоћу електронског специјалног гаса који производе полупроводници.
Време поста: 15.12.2021
