Волфрам хексафлуорид (ВФ6) се таложи на површини плочице кроз ЦВД процес, испуњавајући металне ровове међусобне везе и формирајући металну међусобну везу између слојева.
Хајде да прво разговарамо о плазми. Плазма је облик материје који се углавном састоји од слободних електрона и наелектрисаних јона. Постоји широко у свемиру и често се сматра четвртим стањем материје. Зове се стање плазме, такође се назива и "плазма". Плазма има високу електричну проводљивост и има снажан ефекат спајања са електромагнетним пољем. То је делимично јонизовани гас, састављен од електрона, јона, слободних радикала, неутралних честица и фотона. Сама плазма је електрички неутрална смеша која садржи физички и хемијски активне честице.
Једноставно објашњење је да ће под дејством високе енергије молекул савладати ван дер Валсову силу, силу хемијске везе и Кулонову силу, и представљати облик неутралног електрицитета у целини. Истовремено, висока енергија коју даје споља побеђује горе наведене три силе. Функција, електрони и јони представљају слободно стање, које се може вештачки користити под модулацијом магнетног поља, као што је процес јеткања полупроводника, ЦВД процес, ПВД и ИМП процес.
Шта је висока енергија? У теорији, и високе температуре и високе фреквенције РФ се могу користити. Уопштено говорећи, високу температуру је скоро немогуће постићи. Овај захтев за температуром је превисок и може бити близак температури сунца. У основи је немогуће постићи у процесу. Због тога индустрија обично користи високофреквентне РФ да би то постигла. РФ плазма може достићи чак 13МХз+.
Волфрам хексафлуорид се плазмизује под дејством електричног поља, а затим се таложи паром помоћу магнетног поља. Атоми В су слични перју зимске гуске и падају на земљу под дејством гравитације. Полако, В атоми се таложе у пролазне рупе и на крају попуњавају пуне пролазне рупе како би формирале металне међусобне везе. Поред таложења атома В у пролазним рупама, да ли ће они бити таложени и на површини плочице? Да, дефинитивно. Уопштено говорећи, можете користити В-ЦМП процес, који називамо механичким процесом млевења за уклањање. То је слично коришћењу метле за чишћење пода после великог снега. Снег на земљи је пометен, али снег у рупи на земљи ће остати. Доле, отприлике исто.
Време поста: 24.12.2021
