ТУНГСТЕН ХЕКСАФЛУОРИД (ВФ6) се депонује на површини реф-а кроз процес ЦВД-а, пуњења металних транспортних ровова и формирање металне интерконекције слојева.
Хајде да прво разговарамо о плазми. Плазма је облик материје који се углавном састоји од бесплатних електрона и наплаћених јона. Постоји широко у универзуму и често се сматра четвртој држави материје. Зове се држава плазме, која се такође назива "плазмом". Плазма има високу електричну проводљивост и има снажан ефекат спајања са електромагнетном пољем. То је делимично јонизовани гас, састављен од електрона, јона, слободних радикала, неутралних честица и фотона. Сама у плазми је електрично неутрална смеша која садржи физички и хемијски активне честице.
Исправно објашњење је да ће под акцијом високе енергије молекул превазићи ВАН дер Ваалс силе, хемијске силе обвезнице и ЦОУЛОМБ силе и представља облик неутралне електричне енергије у целини. Истовремено, висока енергија која је споља пренела прекорачила је изнад три силе. Функција, електрони и јони представљају слободно стање, које се може вештачки коришћено под модулацијом магнетног поља, као што је процес јеткања полуводича, ЦВД процес, ПВД и ИМП процес.
Шта је висока енергија? У теорији се могу користити и висока температура и висока фреквенција РФ. Генерално гледано, висока температура је готово немогуће постићи. Ова потреба за темпераом је превисока и може бити близу температуре сунца. У основи је немогуће постићи у процесу. Стога индустрија обично користи високу фреквенцију РФ да би га постигла. Плазма РФ може достићи чак 13МХз +.
Тунгстен Хекафлуориде је умамљен под деловањем електричног поља, а затим је испало на магнетно поље. В атоми су слични зимским перјем гуске и падну на земљу под акцијом гравитације. Полако, В атоми се депонују у кроз рупе и коначно испуњене пуне рупама за формирање металних интерконекција. Поред депоновања са атомима у пролазама, да ли ће се такође депоновати на површини вафла? Да, дефинитивно. Генерално гледано, можете да користите процес В-ЦМП-а, који је оно што називамо механички процес брушења за уклањање. Слично је употреба метле да помера под након обилног снега. Снег на земљи је прогутао, али снег ће остати снег у рупи на земљи. Доље, отприлике исто.
Вријеме поште: ДЕЦ-24-2021
