Волфрам хексафлуорид (WF6) се наноси на површину плочице CVD поступком, попуњавајући металне међусобне везе и формирајући металну међусобну везу између слојева.
Хајде прво да причамо о плазми. Плазма је облик материје који се углавном састоји од слободних електрона и наелектрисаних јона. Широко је распрострањена у универзуму и често се сматра четвртим стањем материје. Назива се плазма стање, такође названо „плазма“. Плазма има високу електричну проводљивост и има јак ефекат спрезања са електромагнетним пољем. То је делимично јонизовани гас, састављен од електрона, јона, слободних радикала, неутралних честица и фотона. Сама плазма је електрично неутрална смеша која садржи физички и хемијски активне честице.
Једноставно објашњење је да под дејством високе енергије, молекул ће превазићи ван дер Валсову силу, силу хемијске везе и Кулонову силу, и представљати облик неутралног електрицитета као целина. Истовремено, висока енергија коју даје спољашњи утицај превазилази горе наведене три силе. Функција је да електрони и јони представљају слободно стање, које се може вештачки користити под модулацијом магнетног поља, као што је процес нагризања полупроводника, CVD процес, PVD и IMP процес.
Шта је висока енергија? Теоретски, могу се користити и високотемпературни и високофреквентни РФ. Генерално говорећи, високу температуру је готово немогуће постићи. Овај температурни захтев је превисок и може бити близу температуре Сунца. У основи је немогуће постићи га у том процесу. Стога, индустрија обично користи високофреквентни РФ да би га постигла. Плазма РФ може достићи и до 13MHz+.
Волфрам хексафлуорид се плазмизује под дејством електричног поља, а затим се таложи из паре магнетним пољем. Атоми W су слични зимском гушчијем перју и падају на земљу под дејством гравитације. Полако, атоми W се таложе у пролазне рупе и коначно пуне пролазне рупе како би формирали металне међусобне везе. Поред таложења атома W у пролазним рупама, да ли ће се они таложити и на површини плочице? Да, дефинитивно. Генерално говорећи, можете користити W-CMP процес, што називамо процесом механичког млевења, да бисте га уклонили. Слично је коришћењу метле за чишћење пода након јаког снега. Снег са земље се уклања, али снег у рупи на земљи ће остати. Доле, отприлике исто.
Време објаве: 24. децембар 2021.
