Волфрам хексафлуорид (ВФ6) се таложи на површини плочице кроз ЦВД процес, испуњавајући металне ровове међусобне везе и формирајући металну међусобну везу између слојева.
Хајде да прво разговарамо о плазми.Плазма је облик материје који се углавном састоји од слободних електрона и наелектрисаних јона.Постоји широко у свемиру и често се сматра четвртим стањем материје.Зове се стање плазме, такође се назива и "плазма".Плазма има високу електричну проводљивост и има снажан ефекат спајања са електромагнетним пољем.То је делимично јонизовани гас, састављен од електрона, јона, слободних радикала, неутралних честица и фотона.Сама плазма је електрички неутрална смеша која садржи физички и хемијски активне честице.
Једноставно објашњење је да ће под дејством високе енергије, молекул савладати ван дер Валсову силу, силу хемијске везе и Кулонову силу, и представљати облик неутралног електрицитета у целини.У исто време, висока енергија коју даје споља побеђује горе наведене три силе.Функција, електрони и јони представљају слободно стање, које се може вештачки користити под модулацијом магнетног поља, као што је процес јеткања полупроводника, ЦВД процес, ПВД и ИМП процес.
Шта је висока енергија?У теорији, и високе температуре и високе фреквенције РФ се могу користити.Уопштено говорећи, високу температуру је скоро немогуће постићи.Овај захтев за температуром је превисок и може бити близак температури сунца.У основи је немогуће постићи у процесу.Због тога индустрија обично користи високофреквентне РФ да би то постигла.РФ плазма може досећи чак 13МХз+.
Волфрам хексафлуорид се плазмаизује под дејством електричног поља, а затим се таложи паром помоћу магнетног поља.Атоми В су слични перју зимске гуске и падају на земљу под дејством гравитације.Полако, В атоми се таложе у пролазне рупе и на крају пуне пуне пролазне рупе да формирају металне међусобне везе.Поред депоновања атома В у пролазним рупама, да ли ће они бити депоновани и на површини плочице?Да дефинитивно.Уопштено говорећи, можете користити В-ЦМП процес, који називамо механичким процесом млевења за уклањање.То је слично коришћењу метле за чишћење пода после великог снега.Снег на земљи је пометен, али снег у рупи на земљи ће остати.Доле, отприлике исто.
Време поста: 24.12.2021
